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      不同蒸發源的優缺點

      2020-12-11

      電阻加熱蒸發源

      優點:

      1. 結構簡單、使用方便、造價低廉,因此使用普遍;

      2. 可蒸發蒸發溫度小于1500℃的鋁、金、銀等金屬,蒸發一些硫化物、氟化物和某些氧化物。

      要求:

      1. 蒸發源材料的自身熔點要高;

      2. 飽和蒸汽壓要低;

      3. 化學性能要穩定,且具有良好的耐熱性,熱源變化時,功率密度變化較??;

      4. 蒸發源對膜材料的“濕潤性”好。

       

      電子束加熱蒸發源

      優點:

      1. 與電阻加熱源相比可以減少污染;

      2. 能量集中,使膜料局部表面受到很高的溫度,而其它部分的溫度低。因此,可使高熔點(可以高達3000℃)的材料蒸發,且有較高的蒸發速率;

      3. 可以準確、方便地控制蒸發溫度;

      4. 有較大的溫度調節范圍,對高、低熔點的膜料都適用,適用性寬,特別適合蒸鍍熔點高達2000℃左右的氧化物。

      缺點:

      1. 通常蒸鍍的膜層較??;

      2. 蒸鍍的薄膜組分復雜。

       

      激光蒸發源

      優點:

      1. 能蒸發任何高熔點材料,可以蒸發各種材料,且獲得很高的蒸發速率;

      2. 與電阻加熱蒸發源相比可以減少鍍膜受污染;

      3. 非常適合于蒸發化合物或合金;

      4. 與電子束蒸發源相比,它避免了電子束蒸發膜面帶電的缺點。

      缺點:

      1. 長時間工作,激光進入鐘罩窗口處的透鏡會受到影響;

      2. 激光蒸發器比較昂貴,且并非對所有材料都顯示其優越性;

      3. 由于蒸發材料溫度太高,蒸發粒子(原子、分子、簇團等)多易離子化,從而會對膜結構和特性產生一定影響。

       

      高頻感應蒸發源

      優點:

      1. 它是面蒸發,蒸發速率大,可以比電阻蒸發源大10倍左右;

      2. 蒸發源的溫度混勻穩定,不易產生飛濺現象;

      3. 蒸發源一次裝料,無需送料機構,溫度控制較容易,操作比較簡單。

      缺點:

      1. 因為接觸易造成污染

      2. 只能蒸發導電的膜料

      3. 設備必須屏蔽,且需要復雜和昂貴的高頻發生器。

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